Ko nga taputapu nui mo nga tikanga microanalysis ko: te miihini matawai (OM), te matawai irahiko matawai-rua (DB-FIB), te miihini irahiko matawai (SEM), me te miihini irahiko tuku (TEM).Ko te tuhinga o tenei ra ka whakaatu i te kaupapa me te whakamahinga o te DB-FIB, e arotahi ana ki te kaha o te ratonga o te reo irirangi me te pouaka whakaata metrology DB-FIB me te tono a DB-FIB ki te tātari semiconductor.
He aha te DB-FIB
Ko te karu irahiko matawai-rua-rua (DB-FIB) he taputapu e whakauru ana i te kurupae katote arotahi me te kurupae irahiko matawai ki runga i te karu kotahi, me nga taputapu penei i te punaha wero hau (GIS) me te nanomanipulator, kia tutuki ai nga mahi maha. penei i te tarai, te whakatakoto rauemi, te tukatuka moroiti me te nano.
I roto i a raatau, ko te kurupae katote arotahi (FIB) ka whakatere i te kurupae katote i hangaia e te puna katote gallium whakarewa (Ga), ka aro ki te mata o te tauira ki te whakaputa tohu irahiko tuarua, ka kohia e te kaitirotiro.Ka whakamahi ranei i te kurupae katote o naianei hei tarai i te mata tauira mo te tukatuka moroiti me te nano;Ka taea hoki te whakamahi i nga tauhohenga hau-a-tinana me nga tauhohenga hau matū ki te whiri, ki te whakatakoto ranei i nga konganuku me nga kaitao.
Nga mahi matua me nga tono a DB-FIB
Ko nga mahi matua: te tukatuka ira-waahanga ira, te whakarite tauira TEM, te kowhiri, te whakapai ake ranei, te whakatakoto i nga mea whakarewa me te whakamaarama paparanga.
Taupānga mara: Kei te whakamahia whānuitia te DB-FIB i roto i nga rawa uku, polymers, rauemi whakarewa, koiora, semiconductor, geology me etahi atu mara rangahau me nga whakamatautau hua e pa ana.Ina koa, na te kaha whakarite tauira tuku-a-waahi motuhake a DB-FIB ka kore e taea te whakakapi i roto i te kaha tātari rahunga semiconductor.
GRGTEST DB-FIB kaha ratonga
Ko te DB-FIB i tenei wa i whakauruhia e te Shanghai IC Test and Analysis Laboratory ko te Helios G5 raupapa o Thermo Field, koinei te raupapa Ga-FIB tino matatau i te maakete.Ka taea e te raupapa te matawai i nga whakataunga whakaahua kurupae irahiko i raro iho i te 1 nm, a he pai ake i runga i nga ahuatanga o te mahi kurupae katote me te aunoatanga atu i te reanga o mua o te miihini hiko hiko rua-kurupae.Ko te DB-FIB he mea whakakakahu ki nga nanomanipulator, punaha wero hau (GIS) me te hihinga hiko EDX ki te whakatutuki i nga momo momo hiahia tātaritanga koretake semiconductor taketake me te matatau.
Hei taputapu kaha mo te wetewete i nga rawa-a-tinana semiconductor, ka taea e DB-FIB te mahi miihini-waahanga-a-waa-waahi me te tika nanometer.I te wa ano o te tukatuka FIB, ka taea te whakamahi i te kurupae irahiko matawai me te taumira nanometer ki te maataki i te moroiti moroiti o te waahanga-whiti me te tātari i te hanganga i te waa tuuturu.Te whakatutuki i te whakatakoto o nga mea whakarewa rereke (tungsten, platinum, me etahi atu) me nga mea whakarewa-kore (waro, SiO2);Ka taea hoki te whakarite i nga poro kikokore TEM i te waahi pumau, ka taea te whakatutuki i nga whakaritenga o te tirohanga tino teitei i te taumata ngota.
Ka whakangao tonu matou ki nga taputapu miihini miihini hiko, te whakapai tonu me te whakawhanui i nga kaha e pa ana ki te tātari rahunga semiconductor, me te whakarato ki nga kaihoko nga otinga tātari rahunga me te matawhānui.
Te wa tuku: Apr-14-2024